PECVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置

PECVD設備接scrubber是干什么用的？scrubber 一般接在什么位置？下面由沃飛科技來為大家簡單的講解一下CVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置。
Scrubber基本上是專為PECVD設備的尾氣處理而設計的一種設備，PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應易爆易燃或有毒氣體排出，Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專門設計的設備。local scrubber專屬PECVD單臺或多臺使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!

Scrubber設備的分類

scrubber根據不同的工藝，產生不同的尾氣；選用不同的處理方式的！

scrubber設備有電加熱式、燃氣式、吸附式、還有一種是用plasma式，其中吸附式要更換吸附桶，使用起來價格比較高，但維護起來是最方便的。

一般選用可用加熱水洗式，水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會反應成SIO2。NH3與水反應會產生結晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會在燃燒后打開，再跟水反應成HF。
Scrubber設備的安裝位置

Scrubber設備一般安裝在設備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經過真空泵pump抽壓抽到Scrubber設備經過處理后然后在排到廠務。
以上就是沃飛科技為大家簡單講解的關于CVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置，希望能給大家提供參考。

深圳沃飛科技有限公司是一家專業從事氣體應用系統工程：電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體（液體）系統、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配套產品于一體的高新技術企業； 榮獲“國家高新技術企業”認定并取得證書。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業；為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案與全國各大院校科研所合作研發的多個國家重點實驗室項目，并取得了可喜的成績。同時為眾多高新技術企業和上市企業提供了安全優質的氣體應用系統服務，保障其生產和設備的可靠運行！

同時公司擁有AFK/奧飛克、Afklok 、沃飛 等行業知名品牌，自主研發生產的氣體混配器、特氣柜、氣體匯流排、VMB閥門箱、氣體減壓器、管件接頭、閥門儀表等產品暢銷于中國大陸和全球26個地區和國家，并獲得了多項國家發明專利，為了追求更好品質并給客戶提供更高更安全的技術，嚴格按照ISO9001標準執行各項管理。