高純化學品是大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路制造的關鍵性配套材料，主要用于芯片的清洗、蝕刻，以及高能電池電解液、電子元器件、高端通用芯片、分立器、平板顯示器、太陽能電池、光電玻璃等制造領域。高純化學品的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。高純化學品具有品種多、用量大、技術要求高、儲存使用有時間期限和具備腐蝕性等特點。

在集成電路芯片和液晶顯示器生產的行業(yè)中,生產工藝需用的各種無機化學品藥液（主要包括各類酸、堿、鹽等）需要通過管道輸送到工藝設備，這些化學品藥液中具有強腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害，為防止化學品管道的輸送過程對人、設備造成傷害以及對環(huán)境造成的污染，保證電子工業(yè)廠房化學品管道安全有效輸送，要求此類管采用雙套管的施工方法,而傳統(tǒng)的雙套管施工工藝是透明PVC管內穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

本工藝采用了透明PVC管內穿PFA軟管的施工方法，即管道系統(tǒng)包括內外管兩層管道,內管采用四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物的軟質管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列),內管為輸送化學品的管道，外管采用透明PVC管道，為保護管道。輸送管道規(guī)格一般為DN10、20、25、50?(1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件，管道、附件均通過專用PFA焊接機進行焊接，與設備連接通常為法蘭連接。

系統(tǒng)組成：
系統(tǒng)一般由設于化學品間外墻的接收裝置、化學品間內的化學品接收儲罐、供給裝置、化學品供給管路組成，。
a．化學品接收裝置，設置在化學品間內，于外墻設有接收窗，直接將室外化學品槽車的化學品接收，并注入藥品儲罐內；
b．標準化學品接收儲罐，置于化學品間地下基礎之上，儲存化學品；
c．化學品供給裝置，置于化學品間內，向使用設備供應化學品；
d．化學品供給管路，自接收裝置至化學品儲罐，再由化學品儲罐至化學品供給裝置。由外套管及內管組成，外管均為透明PVC管，內管由焊接型PFA管及PFA彎頭組成。這類管道一般用于接收裝置至化學品接收儲罐至供給裝置的管路。