結構特點:

· 專為特氣關鍵制程工藝設計

· 面板式整體結構便于安裝

· 主體采用316L不銹鋼材質，更適合于半導體制程特氣使用

· 金屬膜片減壓結構

· 硬密封結構，避免材質老化污染

· 采用膜片閥控制，流道簡潔，操作可靠，使用壽命長

· 閥組采用焊接與VCR結構連接，大幅避免泄漏。

· 可選用報警信號壓力表結構，供氣欠壓提供報警信號

· 特氣系列減壓器

· 配安全閥

· 進口減壓閥及管路經耐壓測試和泄漏測試

· 2”不銹鋼壓力表，讀數清晰

· 所有膜片閥旋鈕帶“開啟/關閉”指示窗